全自动电化学CV测试系统--Quatek

全自动电化学CV测试系统

  • 产品型号:ECVPro
  • 制造原厂:Nanometrics Inc.

美国Nanometrics前身是英国Accent公司,最早名为Bio-Rad公司。在此行业已经有30多年的经验。在国内与德仪公司合作,组成10余人的售后服务团队,其中6人次曾经到Nanometrics工厂受训,专业技术能力较强,在台湾和大陆地区具有20年的售后,维修等服务。并建有常用备品备件库。可以快速更换可能的故障部品。可在中国大陆进行设备维修服务而无需送出国外。减少客户的麻烦,避免额外费用支出。 

ECVpro使用全自动电化学CV测量方法,采用酸碱电解液等量测及分析半导体/太阳能电池材料不同深度的载流子浓度等参数。此仪器是使用最新的测量电路技术,可提供高稳定度且简单的操作。 

特点:

  • 全自动样品接触方式,Cell装入/Cell充满/Cell排空和样品清洁方式

  • 高可再现性密闭环/样品接触压力,测量重复性保证

  • 密闭环组装设计,防止刻蚀面积受力变化

  • 实时Cell监控功能,在电解液充满/刻蚀过程可进行全程监控,

  • 高可靠性参考电极设计-无汞设计, 无挥发问题

  • 样品尺寸12mmx12mm到直径150mm都可进行量测

  • 无限深度刻蚀能力

  • 可选配透明接触电极 – 适合于需要进行光学量测需要

  • 样品制备无要求

  • 可识别微小掺杂变化(由于温度变化导致或其他原因)

  • 直接量测活化掺杂物等级

  • 全自动运行,消除人为因素对测试结果的影响

  • 卓越的重复性(<1% 1s)

  • 卓越的再现性


生产商

美国Nanometrics

型号

ECVpro

载流子测量范围

1012 cm-3 - 1022   cm-3

刻蚀深度

0-无限深度

刻蚀解析度

1nm

配备光源

石英卤素灯或高稳定汞氙等,配备电流控制器,可改变输出光强。可提供紫外光源

刻蚀监控能力

实时监控,随时掌握监控状态

气泡消除功能

内置气泡消除功能,可自动将刻蚀产生气体消除,保证下一步刻蚀精度

刻蚀液装载

自动装载,配备去离子水,电解质,废液等容器,自动配比清洗.自带泵浦,自动抽取

刻蚀液Cell安装

独立Cell,易抽取式设计,更换密闭环方便,可保证密闭压力。保证刻蚀精度和重复性

安装条件

,去离子水,压缩空气,真空。无需配备氮气

载流子频率:

0.3Hz-50kHz

信号放大:

0-400mV,峰峰值

偏置电压:

±10V

电流积分器:±2%,最大到1024µA
击穿电压:40V
原厂公司规模500
中国服务人员6人,8年经验
市场占有全球500+(中国40+
测试精度2.5%
内建校正组件,可自校准

具有自动测试导引软件,指导测试人员进行样品测试,符合SEMI-E95国际规范

具有CELLING RING防变形装置

采用自动清洗,自动充填腐蚀材料,避免人工清洗造成的影响,提升测试的准确性和重复性

教学式操作软件,使用人a员少量培训即可使用

内置CCD配合软件,可实时监控电解液情况

配备气泡去除功能,减少电解液测试不准确度

可测材料:Si,SiC,GaN,III-V化合物,IV-VI化合物

售后服务

专业的售后服务团队,可直接进行本地维修,无需送回原厂.20年的ECV售后经验,可最快解决客户问题