全自动膜厚测试仪--Quatek

全自动膜厚测试仪

  • 产品型号:NanoSpec II
  • 制造原厂:Nanometrics Inc.

NanoSpec II沿袭了业界公认的NanoSpec 6100的范围和性能,具有自动化样品对齐的新设计,快速自动对焦,每站点测量时间小于1秒,测量重复性优于1Å。 

对于现有的6100客户,NanoSpec II将提供一个直观的配方传输系统,为所有测量配方提供全面的后向兼容性。

该系统可与Nanometrics强大的NanoDiffract®光谱反射率结合使用分析软件,用于自动图案对齐的图像处理和可选的机器人200mm,晶圆处理系统,使NanoSpec II成为同类中最强大的薄膜系统。


可选功能

•带15倍镜头的UV波长范围选项

•30nm - 120μm厚膜选件 - 包括具有15X透镜和20μm光斑的高分辨率430-730 nm光谱仪

•NanoDiffract SR分析,具有全堆叠多层和光学常数变化监测

•基于Matrox的图像处理自动化图案晶圆对齐

•洁净室操作手册(硬拷贝)

•NanoStandard®薄膜厚度标准晶圆(6或8英寸)

  • 光谱范围 200nm – 800nm

  • 膜厚测试范围 35Å-20um

  • 光斑大小 14um

  • 膜厚测试动态重复性

    3.5-10nm <1Å

    10nm-100nm <0.8Å
    100nm-500nm <0.08%
    500nm-20um <0.05%

  • 膜厚测试精度
    100-200Å ±5Å
    300Å-1um ±0.5%
    1um-20um ±0.2%

  • 反射率精度
    248nm ±0.5%
    365nm ±0.5%
    633nm ±0.5%